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Innerhalb der Nanotechnologie nimmt die Vermessung und Analyse von vertikalen
und lateralen nm-Strukturen eine herausragende Stellung ein, da deren
reproduzierbare Herstellung quantitativ überprüft werden muss.
Ausgehend von den Anstrengungen, die für die Herstellung von Mikrostrukturen
unternommen wurden, kann hier auf ein umfangreiches Arsenal an Messverfahren
zurückgegriffen werden.
Hochentwickelte Verfahren und Geräte, die mit Elektronen-, Ionen-,
Neutronen-, Neutralteilchen- und Photonenstrahlen, mit Feldemissions-
und Tunneleffekten sowie nach akustischen, elektrischen, thermischen,
magnetischen und optischen Prinzipien arbeiten, werden in der Nanoanalytik
eingesetzt. Da es an Grenzflächen zwischen Materialien unterschiedlicher
chemischer oder struktureller Zusammensetzung zu Diffusion, Segregation,
Korrosion, Rekristallisation, Legierungsbildung, Phasenumwandlung, katalytischer
Reaktion etc. kommen kann, wodurch die Struktur und Zusammensetzung und
damit die Stoffeigenschaften entscheidend verändert werden können,
ist je nach Problemstellung der Einsatz unterschiedlicher Analysemethoden
erforderlich.
Anwendungsbeispiele:
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