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Von den Eigenschaften funktionsbestimmender, ultradünner Schichten
wird der Gebrauchswert vieler Produkte bestimmt, bzw. die Entwicklung
neuer Produktgenerationen ermöglicht.
Durch Aufbau und Verbindung verschiedener ultradünner Schichten
im nm-Bereich können komplexe Kombinationen von mechanischen, optischen,
elektrischen oder chemischen Eigenschaften in dreidimensionaler Bauweise
mit funktionsorientiertem Charakter und höchster Integrationsdichte
geschaffen werden.
Dies gilt sowohl für anorganische und organische Substratschichten
als auch für biologische Molekülstrukturen, die für die
Herstellung von Schaltern Speichern, Sensoren, Prozessoren, Aktuatoren,
Membranen, Katalysatoren bzw. Inhibitoren und für multivalente Anwendungen
genutzt werden können.
Die Schichttechnologien sind vergleichsweise gut entwickelt und am weitesten
in der Anwendung. Die exakte Herstellung definierter Schichten ist eine
unabdingbare Voraussetzung, falls eine nachfolgende Strukturierung erfolgen
soll.
Am schwierigsten sind Vielschichtanordnungen mit atomar glatten Schichtgrenzen
über große Bereiche herzustellen.
Anwendungsbeispiele:
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