Speziell in der Optik und Feinmechanik sind Bearbeitungsverfahren für
beliebig geformte Oberflächen, Polierfehlerkorrekturverfahren und
Optik-Beschichtungstechniken, sowie Geräteentwicklungen für
die sub-100nm- Lithographie und Online-Überwachung bei der Ultrapräzisionsbearbeitung
von hoher industrieller Bedeutung. Der Einsatz ultraglatter Linsen in
Photolithographie-Belichtungssystemen und auch die Erweiterung der Optiken-Palette
zu anderen Wellenlängenfenstern (Röntgenbereich, evtl. Infrarot)
wird ebenfalls als ein wichtiges Themenfeld angesehen (z.B. für die
Projektions-Röntgenlithographie).
Die Ultrapräzisionstechnik beinhaltet alle Bearbeitungsverfahren,
bei denen Körper und Oberflächen mit makroskopischen Abmessungen
extrem präzise in Form und Glattheit hergestellt werden. Je präziser
geglättet und geformt Oberflächen sind, desto bessere optische
Eigenschaften weisen sie auf. Dabei muss jedoch die Bearbeitung von verschiedensten
Materialien erforscht werden, da das Spektrum der optisch nutzbaren Wellenlängen
sehr breit ist. Neben immer glatter und formgenauer herzustellenden Linsen
für den sichtbaren Bereich werden zunehmend Optiken für den
Infrarot- und auch den UV- und Röntgenbereich gefordert.
Hierzu ist eine zunehmende Perfektionierung der Polierkunst aus einer
Kombination konventioneller und total neuer Produktionsverfahren notwendig.
Marktperspektiven ergeben sich daher sowohl für Hersteller von Bearbeitungsmaschinen
als auch von optischen Komponenten und Substraten.
